半導(dǎo)體參數(shù)分析儀B1500A

發(fā)布時(shí)間: 2018/9/30 13:05:05

Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀屬于是德科技精密電流-電壓分析儀系列,是一款能夠提供 IV、CV、脈沖/動(dòng)態(tài) IV 等豐富功能的綜合分析儀,旨在全面滿足從基礎(chǔ)到尖端應(yīng)用的表征需求。B1500A 提供極其豐富的測量功能,支持器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源器件甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測試,并且具有卓越的測量可靠性和測量效率。此外,B1500A 的模塊化體系結(jié)構(gòu)和 10 個(gè)空閑插槽允許您添加或升級測量模塊,以適應(yīng)不斷變化的測量需求。

基于 Keysight EasyEXPERT group+ 圖形用戶界面的表征軟件可以在 B1500A(配有 15 寸觸摸屏)的嵌入式 Windows 7 平臺(tái)或 PC 上運(yùn)行,能夠幫助加快表征任務(wù)速度。軟件支持交互式手動(dòng)操作或結(jié)合半自動(dòng)晶圓探頭的自動(dòng)操作,能夠在從測量設(shè)置和執(zhí)行到結(jié)果分析和數(shù)據(jù)管理的整個(gè)表征過程中實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征。EasyEXPERT group+ 配備數(shù)百種易于使用的測量(應(yīng)用測試)功能,允許您快速而輕松執(zhí)行復(fù)雜器件表征,并可以選擇在每次測量結(jié)束后將測試條件和測量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存到獨(dú)有的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(工作區(qū))中,以確保不會(huì)遺失重要的信息和在日后能夠重復(fù)執(zhí)行該測量。憑借這些全面的測量功能,Keysight B1500A 提供了一款綜合的器件表征解決方案。

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀B1500A


主要特性與技術(shù)指標(biāo)

測量功能

??在 0.1 fA - 1 A / 0.5 μV - 200 V 范圍內(nèi)執(zhí)行精確的電流-電壓(IV)測量,支持點(diǎn)測量、掃描測量、采樣和脈沖測量

??在 1 kHz 至 5 MHz 頻率范圍內(nèi)執(zhí)行交流電容測量,支持準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓(QS-CV)測量

??先進(jìn)的脈沖 IV 測量和超快 IV 測量,最低采樣間隔為 5 ns(200 MSa/s)

??高達(dá) 40 V 的高壓脈勢,適用于非易失存儲(chǔ)器測試


EasyEXPERT group+ 軟件

??EasyEXPERT group+ 表征環(huán)境可以在配有 15 英寸觸摸屏的分析儀主機(jī)(嵌入式 Windows 7)或用戶 PC 上運(yùn)行

??多種測量模式,實(shí)現(xiàn)快速設(shè)置和測量執(zhí)行(應(yīng)用測試、典型測試、追蹤儀測試、快速測試和示波器顯示)

??圖形顯示和自動(dòng)分析功能,能夠生成數(shù)據(jù)并導(dǎo)入 Excel 和圖像以便分析和報(bào)告

??EasyEXPERT group+ 軟件可以根據(jù)您的需要安裝在多臺(tái) PC 上并且不會(huì)收取額外的費(fèi)用,因而您所在部門的用戶都能充分利用離線個(gè)人分析儀環(huán)境進(jìn)行測試


主機(jī)功能特性

??可配置和可升級的測量模塊,多達(dá) 10 插槽

??15 英寸觸摸屏支持直觀的 EasyEXPERT group+ 圖形用戶界面(GUI)操作方式

??嵌入式 Windows 7 標(biāo)準(zhǔn)版操作系統(tǒng)(WES7)

??GPIB、USB、LAN 接口和 VGA 視頻輸出端口


描述

Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀屬于是德科技精密電流-電壓分析儀系列,是一款能夠提供 IV、CV、脈沖/動(dòng)態(tài) IV 等豐富功能的綜合分析儀,旨在全面滿足從基礎(chǔ)到尖端應(yīng)用的表征需求。B1500A 提供極其豐富的測量功能,支持器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源器件甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測試,并且具有卓越的測量可靠性和測量效率。此外,B1500A 的模塊化體系結(jié)構(gòu)和 10 個(gè)空閑插槽允許您添加或升級測量模塊,以適應(yīng)不斷變化的測量需求。


基于 Keysight EasyEXPERT group+ 圖形用戶界面的表征軟件可以在 B1500A(配有 15 寸觸摸屏)的嵌入式 Windows 7 平臺(tái)或 PC 上運(yùn)行,能夠幫助加快表征任務(wù)速度。軟件支持交互式手動(dòng)操作或結(jié)合半自動(dòng)晶圓探頭的自動(dòng)操作,能夠在從測量設(shè)置和執(zhí)行到結(jié)果分析和數(shù)據(jù)管理的整個(gè)表征過程中實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征。EasyEXPERT group+ 配備數(shù)百種易于使用的測量(應(yīng)用測試)功能,允許您快速而輕松執(zhí)行復(fù)雜器件表征,并可以選擇在每次測量結(jié)束后將測試條件和測量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存到獨(dú)有的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(工作區(qū))中,以確保不會(huì)遺失重要的信息和在日后能夠重復(fù)執(zhí)行該測量。憑借這些全面的測量功能,Keysight B1500A 提供了一款綜合的器件表征解決方案。

即用型應(yīng)用程序庫

器件類型

應(yīng)用測試

CMOS 晶體管

Id-Vg、Id-Vd、Vth、擊穿、電容、QSCV 等

雙極晶體管

Ic-Vc、二極管、Gummel 曲線圖、擊穿、三極管、電容等

分立器件

Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二極管等

存儲(chǔ)器

Vth、電容、耐久測試等

功率器件

脈沖 Id-Vg、脈沖 Id-Vd、擊穿等

納米器件

電阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc 等

可靠性測試

NBTI/PBTI、電荷泵、電遷移、熱載子注入、恒增電流(J-Ramp)、TDDB 等

以及其它

以及其它

了解 B1500A 應(yīng)用軟件的更多信息。

EasyEXPERT group+ 的出眾功能

測量功能

階狀掃描、多通道掃描、脈沖掃描、IV 采樣、高速 IV 采樣、CV、C-t、C-f 等

開關(guān)矩陣控制

支持 B2200、B2201 和 E5250(E5252 卡)。

分析和數(shù)據(jù)顯示功能

列表顯示、X-Y 圖(使用游標(biāo)、光標(biāo)、線)、自動(dòng)分析函數(shù)、用戶函數(shù)等

數(shù)據(jù)管理

用戶工作區(qū)管理、利用自動(dòng)記錄特性來保存/調(diào)用測量數(shù)據(jù)和設(shè)置


型號(hào)

名稱

功能

B1500A

半導(dǎo)體器件參數(shù)分析儀/半導(dǎo)體表征系統(tǒng)主機(jī)

Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀屬于精密電流-電壓分析儀,是一款能夠提供 IV、CV、脈沖/動(dòng)態(tài) IV 等豐富功能的綜合分析儀,旨在全面滿足從基礎(chǔ)到尖端應(yīng)用的表征需求。B1500A 提供極其豐富的測量功能,支持器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源器件甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測試,并且具有卓越的測量可靠性和測量效率。

B1500A-A10

大功率電源/測量單元

最大200V/1A

最小測量分辨率10fA/2μV

最小電源分辨率50fA/100μV

最小 100μs 采樣率 (時(shí)域)測量

最小脈寬 500μs, 100μs 分辨率

準(zhǔn)靜態(tài)電容電壓 (QSCV)測量, 具有泄漏電流補(bǔ)償

B1500A-A11

中功率電源/測量單元

最大100V/0.1A

最小測量分辨率10fA/0.5μV

最小電源分辨率50fA/25μV

最小 100μs 采樣率 (時(shí)域)測量

最小脈寬 500μs, 100μs 分辨率

準(zhǔn)靜態(tài)電容電壓 (QSCV)測量, 具有泄漏電流補(bǔ)償

B1500A-A17

高分辨率電源/測量單元

最大100V/0.1A

最小測量分辨率1fA/0.5μV

最小電源分辨率5fA/25μV

最小 100μs 采樣率 (時(shí)域)測量

最小脈寬 500μs, 100μs 分辨率

準(zhǔn)靜態(tài)電容電壓 (QSCV)測量, 具有泄漏電流補(bǔ)償

B1500A-A20

多頻率電容測量單元

頻率范圍為1kHz至5MHz

SMU和SCUU提供25V內(nèi)置直流偏置和100V直流偏置

交流阻抗測量 (C-V、C-f、C-t)?

B1500A-A25

高電壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元

高壓輸出可達(dá)±40 V,適用于非易失存儲(chǔ)器測試

每通道支持二電平和三電平脈沖

ALWG 可以靈活地生成任意波形(任意線性波形生成功能),分辨率為 10ns

高度精確的強(qiáng)勵(lì)電壓與0.4mV分辨率

頻率范圍為0.1Hz至33MHz

電壓監(jiān)測時(shí)間最小值是5μs

每個(gè)模塊具有兩個(gè)通道

B1500A-A30

波形發(fā)生器/快速測量單元

支持快速、高靈敏度的IV(電流-電壓)測量、脈沖IV 測量和瞬時(shí)IV測量,適合各種應(yīng)用場合,比如NBTI/PBTI和RTN(隨機(jī)電報(bào)信號(hào)噪聲)等

可以生成任意波形,編程分辨為10 ns(除了直流輸出以外)

同時(shí)執(zhí)行高速IV測量(最高200MSa/秒)

精度為1nA的高靈敏度測量

10V峰峰值輸出

雙通道輸出

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