系統(tǒng)技術(shù)指標及性能
1)8英寸半自動毫米波射頻探針臺,寬大的測試空間,能對芯片、chip及器件進行測試;?
2)系統(tǒng)可滿足高達110GHz頻率范圍的雙端口器件芯片測試要求,并能夠?qū)崿F(xiàn)與指定的擴頻模塊很好的搭載和測量;系統(tǒng)可測試67G以下雙端口器件;可做四端口直流測試;?
3)可以實現(xiàn)通過軟件對晶片載臺X, Y, Z, Theta 四個方向的移動全程控制。設(shè)備控制軟件可以提供自動晶片水平校準,自動器件尺寸測量,自動移動誤差補償,遠程控制等自動化功能;?
4)載物臺可被拉出工作臺98%,便于放置被測件;且臺面拉桿可在任意角度停留,方便扎針測試;
5)載物臺X-Y方向:1μm (0.04 mils)分辨率、小于2μm 重復精度、大于50mm/sec的移動速度;Z方向:5mm的移動范圍、1μm分辨率、小于1μm 重復精度;Theta方向:轉(zhuǎn)動角度范圍+/-5.5度;
6)平坦度誤差優(yōu)于30um;芯片載臺帶有兩個獨立的附加小載臺,方便放置射頻校準片;
7)ATT八英寸-60℃到+300℃溫度控制器.
8)溫度控制精確度:±0.1攝氏度;晶片載臺溫度均勻度小于1%;降溫速度:-60℃到25℃≤7 min;25℃到300℃≤30 min;300℃到25℃≤18 min;25℃到-60℃≤18 min; ?
9)高穩(wěn)定支架的顯微鏡結(jié)構(gòu),顯微鏡移動范圍:2 英寸 X 2 英寸;放大倍率 50 倍到750 倍連續(xù)可變;機臺控制器,Window 7/10操作系統(tǒng),內(nèi)置影像截取卡用于顯示顯微鏡圖像;?
10)配置先進的微暗室技術(shù),確保良好的測試環(huán)境
11)射頻探針座采用高穩(wěn)定機械固定方式,精度:手動; X、Y、Z軸定位精度2um, X、Y軸移動范圍:12cm x 12cm;?
12)配套LRRM校準模式的自動射頻校準軟件;?
13)配套供放置探針臺使用的重型防震平臺及真空泵等設(shè)備,系統(tǒng)運行穩(wěn)定;?
型號 | 名稱 | 功能 |
Summit?12000 | 200mm 半自動探測臺 | 8英寸半自動毫米波射頻探針臺 載物臺X-Y方向:1μm (0.04 mils)分辨率、小于2μm 重復精度、大于50mm/sec的移動速度;Z方向:5mm的移動范圍、1μm 分辨率、小于1μm 重復精度;Theta方向:轉(zhuǎn)動角度范圍+/-5.5度 平坦度誤差優(yōu)于30um;芯片載臺帶有兩個獨立的附加小載臺,方便放置射頻校準片; 配置先進的微暗室技術(shù),確保良好的測試環(huán)境,擁有最低20dB 0.5-3 GHz、小于-170 dBVrms/rtHz(≤50KHz)、小于5mVp-p (≤ 1GHz)的系統(tǒng)AC噪聲、光強衰減大于120dB 具有NRTL,CE, Semi S2等認證 |
TS-412-14P | ATT高低溫控制系統(tǒng) | 溫度控制精確度:±0.1攝氏度;晶片載臺溫度均勻度小于1%;升降溫速度:-60℃到25℃≤7 min;25℃到300℃≤30 min;300℃到25℃≤18 min;25℃到-60℃≤18 min |
SP-Inf? | 直流至110G探針模組 | 系統(tǒng)可滿足高達110GHz頻率范圍的雙端口器件和四端口差分器件芯片測試要求,并能夠?qū)崿F(xiàn)與指定的擴頻模塊很好的搭載和測量;可做四端口直流測試 |
Velox | 探針臺控制軟件 | 實現(xiàn)通過軟件對晶片載臺X, Y, Z, Theta 四個方向的移動全程控制。設(shè)備控制軟件可以提供自動晶片水平校準,自動器件尺寸測量,自動移動誤差補償,遠程控制等自動化功能 |
eVue?III | 顯微鏡 | 高穩(wěn)定支架的顯微鏡結(jié)構(gòu),顯微鏡移動范圍:2 英寸 X 2 英寸;放大倍率 50 倍到1000 倍連續(xù)可變;機臺控制器,Window 7操作系統(tǒng),內(nèi)置影像截取卡用于顯示顯微鏡圖像 |
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